GB/T 11446.1-2013電子級水國家標準文檔下載 電子級水1 范圍GB/T 11446 的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢測規則。本部分使用與電子和半導體工業永高純清洗用水。2 規范性引用文件下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則GB/T 11446.4-2013 電子級水電阻率的測試方法GB/T 11446.5-2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法GB/T 11446.7-2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法GB/T 11446.9-2013 電子級水中微粒的儀器測試方法GB/T 11446.10-2013 電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法3 術語和定義下列術語和定義適用于本文件。3.1電子級水 electronic grade water電子和半導體工藝過程中所用的高純水。3.2電阻率 resistivity在規定溫度下，1cm3(正立方體)水溶液兩相...
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2017
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